三氟碘甲烷
作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体，可应用于半导体闪存芯片的前段刻蚀。
作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体，可应用于半导体闪存芯片的前段刻蚀。
| 化学名称 | 三氟碘甲烷 |
| 别名 | 三氟甲基碘 |
| CAS号 | 2314-97-8 |
| ELINCS号 | 219-014-5 |
| 化学式 | CF3I |
| 结构式 | CF3-I |
| 分子量 | 195.91 |
| 外观（常温常压下） | 气体 |
| 颜色 | 无色 |
| 味道 | 无味 |
| ODP（CFC-11 = 1） | <0.09 |
| GWP100（CO2 = 1） | <1 |
| 大气寿命（天） | <5 |
| TWA（8-hr） | 150 ppm |
| 化学名称 | 三氟碘甲烷 |
| 沸点（℃） | -22.5 |
| 熔点（℃） | -110 |
| 液体密度（@25℃，g/cm3） | 2.096 |
| 饱和蒸气压（@20℃，MPa） | 0.472 |
| 临界温度（℃） | 122 |
| 临界压力（MPa） | 4.04 |
| 临界体积（cm3/mole） | 225 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 包装尺寸 | 阀门 | 充填量 |
| 10 L | CGA 660/DISS 716 | 10 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 45kg |
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