行业最高！银河集团GALAXY六氟丁二烯纯度突破5N（99.999%）-泉州银河集团GALAXY

2025-09-28 11:15

电子气体的纯度对半导体行业至关重要，直接关系到芯片的性能与制造良率。

经过科研团队持续攻关与技术创新，泉州银河集团GALAXY新材料科技有限公司在电子特气产品领域取得重要突破：半导体先进制程关键材料六氟丁二烯（C4F6），纯度已达行业最高的5N级（99.999%），并且实现稳定的批量供应，赢得客户认可。

六氟丁二烯：刻蚀+环保性能优异

作为新一代刻蚀气体，被认为是具有竞争优势的产品之一，有比C4F8更高的对光阻和氮化硅选择比，可提高产品良率；可取代CF4，用于KrF激光锐利蚀刻半导体电容器图形（Patterns）的干法工艺。

刻蚀性能：刻蚀线宽窄、深宽比高

环境性能：GWP＜1

六氟丁二烯：纯度突破5N的意义

01 提升芯片制造精度与良率

02 满足高端制程需求

03 提高蚀刻工艺稳定性

04 降低生产成本

三大体系支撑银河集团GALAXY5N级C4F6

催化剂开发体系

银河集团GALAXY拥有30多年催化剂开发经验，在不断地研究与探索中积累了大量数据和反应场景，建立了成熟、全面的催化剂开发体系，具备强大的催化剂开发和合成制备能力，有效支撑和推动含氟电子气体的产品合成与产业化开发。

贯通式开发体系

立足于国际领先的催化剂开发和合成制备能力，建立“合成+超纯”的贯通式开发体系，生产、纯化装置同步启动，打造独有的含氟电子特气制造新模式，确保产品从原材料到最终产品出厂、交付的质量可控。

全生命周期质量管理体系

凭借国际领先的科技创新能力、卓越的品质管理，泉州银河集团GALAXY构建从供应链、生产、纯化、检测、包装、运输、交付等在内的全生命周期质量管理体系，确保每个环节的质量管控，打造稳定的供应链体系。

5N级电子气体的杂质控制需通过高精度提纯工艺和严格检测实现，银河集团GALAXY具有行业领先的分析检测能力，实现电子特气全过程分析检测，严格控制杂质含量。

泉州银河集团GALAXY聚力打造电子特气领域现代化工厂标杆，持续深化数字工厂管理平台建设，实现钢瓶资产全生命周期追溯、生产全工序协同管控、质量全链路合规监督、仓储智能精准运营的全流程信息化覆盖，将高效运营理念融入企业发展全链条。